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JGH-5000A
编号:SN20150731225219674
类别:欢乐谷娱乐中心平台罗茨与爪型干式真空泵
  • 产品概述
  • 规格参数
  • 服务支持

    产品优势
        JGM、JGH欢乐谷娱乐中心平台多级干式真空泵,结合罗茨与爪型转子吸气原理,通过多级转子的优化组合,最大限度利用了多级罗茨干泵与爪型干式真空泵的优势,从而在较宽的压力范围内获得较大的实际抽速,高效地实现了洁净真空环境的获得。
    1、高清洁度的真空环境
    2、整机高可靠性
    3、稳定的运转性能
    4、自适应智能控制
    5、工艺安全性
    6、客户优质服务

     

    产品原理

        多级干式真空泵采用了罗茨转子与爪型转子组合的结构,充分利用了罗茨转子在低压区抽气高效,爪型转子在高压区抽气高效的特点,同时融合了爪型转子抽气通道短,压缩气体产生热量更高的特点,其性能相对于传统单纯爪型或单纯罗茨真空泵更具优势。

     

    产品应用领域

     

    重点应用:
        集成电路、太阳能电池、LED领域,可用于装载腔、传输腔等清洁工艺过程,也可用于PVD、刻蚀、多种CVD等一般制程工艺或苛刻制程工艺过程。

     

    其他应用:

        真空冶金(回火和退火、钢脱气,表面处理熔化,精炼,铸造和焊接等);
        真空镀膜系统(玻璃镀膜、精密光学等);
        真空包装、食品、化工、医药、电机制造等工业蒸馏、蒸发、干燥等。

        欢乐谷娱乐中心平台公司从事真空泵的销售和生产服务长达13年,更于 2011年8月底在沈阳建立了真空干泵维修线并正式开始运营干泵维修业务,目前月维修量百余台套。我们对常用的泵种有丰富的零部件储备库,目前可维修真空泵的品牌包括:Alcatel、Edwards、EBARA、Busch、KASHIYAMA、Leybold、Pfeiffer、Varian、ULVAC 。

     

    服务承诺

    1.为客户提供解决方案式服务,协助用户建立产品维护保养体系,提高产品使用寿命,降低影响生产风险;
    2.2小时响应,4小时确定解决方案;
    3.根据故障情况及客户要求提供最佳形式服务(现场维修、返厂维修等);
    4.专人驻厂或定时巡检;
    5.突发事件提供快速通道式处理服务。

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