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欢乐谷娱乐中心平台真空干泵正式进驻中芯国际(北京)

 

 

由欢乐谷娱乐平台注册,欢乐谷国际娱乐平台,欢乐谷娱乐中心平台(以下简称欢乐谷娱乐中心平台)承担实施的“十一五”国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”——“干泵与欢乐谷娱乐中心平台真空阀门产品开发与产业化”项目于20154月通过验收。

该项目产品继今年6月通过中芯国际(深圳)8寸生产线测试并实现批量采购后,又分别通过了中芯国际(北京)12寸生产线和武汉新芯12寸生产线PVD工艺测试。1125日,欢乐谷娱乐中心平台按期交付中芯国际(北京)第一批真空干泵28台采购订单,打破了国外产品在该领域持续多年的强力垄断,成功实现了国产化替代。产品经过产业化验证和应用,性能稳定,服务和产品价格与国外同类产品相比具有明显优势,不但能够为国产集成电路工艺欢乐谷国际娱乐平台提供核心附属欢乐谷国际娱乐平台,也可以在进口工艺欢乐谷国际娱乐平台上进行替换使用。

目前,欢乐谷娱乐中心平台是国内唯一能够为集成电路工艺欢乐谷国际娱乐平台制造厂商和FAB工厂批量生产真空干泵的厂家。未来几年,国内规划建设的12寸晶圆制造厂达到10座以上,真空干泵的市场需求潜力巨大,需求量达5万台以上。欢乐谷娱乐中心平台将持续努力,为实现我国在该领域的崛起贡献出自己的一份力量。



 
 
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