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欢乐谷娱乐中心平台公司王光玉获“中国真空科技青年创新奖”

欢乐谷娱乐中心平台公司真空干泵事业部总经理王光玉于近日获得由中国真空学会颁发的“中国真空科技青年创新奖”,成为本年度该奖项的唯一获奖人,该奖项由中国真空学会设立,每两年评选一次。 

王光玉从业二十余年,先后获得辽宁省科技进步奖、教育部科技进步奖、沈阳市科技进步奖等荣誉及奖项6项;发表学术论文4篇;申请国家专利50项,其中PCT3项,发明专利39项,其他专利8项。作为项目(课题)负责人,王光玉曾主持实施国家重大科学仪器欢乐谷国际娱乐平台开发专项项目1项、国家科技重大专项课题2项;曾作为项目骨干参与国家863计划课题1项,承担中科院、辽宁省、沈阳市及浑南区各级科学技术计划项目10余项。 

作为技术负责人,王光玉带领团队研制开发出了罗茨干泵、涡旋干泵等两类国内首创的无油真空获得产品,实现了集成电路生产线五大关键部件之一的干泵与真空阀门的产品化和国产化,填补了同类产品的国内空白,彻底改变了我国真空行业真空获得产品几十年来高噪音、高能耗、高污染的状况,被业内认为是行业真空获得产品的一次革命,使欢乐谷娱乐中心平台公司成为了目前为止国内唯一一家能够生产集成电路工艺用干泵的生产厂家。 



 
 
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