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Cluster PECVD等离子体化学气相沉积镀膜欢乐谷国际娱乐平台
编号:SN20151013154824891
类别:PECVD欢乐谷娱乐中心平台等离子体化学气相沉积镀膜欢乐谷国际娱乐平台
  • 产品概述
  • 规格参数
  • 服务支持

    欢乐谷国际娱乐平台用途

        本欢乐谷国际娱乐平台采用等离子体增强化学气相沉积技术,在光学玻璃、硅、石英以及不锈钢等不同衬底材料上沉积氮化硅、非晶硅和微晶硅等薄膜,用以制备非晶硅和微晶硅薄膜太阳电池器件。可广泛应用于大专院校、科研院所的薄膜材料的科研与小批量制备。

     

    欢乐谷国际娱乐平台组成

        该系统主要由1个中央传输室、3个PECVD沉积室和一个进/出片室构成,并预留2个腔室接口后续使用。

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